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 主机                描述   

系统配置            精密3CNC系统,“T 型布局

最大加工范围        750mm×750mm

腔体结构            主真空腔体(Φ1700mm×1450mm,304,副真空腔体(304

法拉第扫描系统      法拉第杯电流收集器,电流放大器(1000倍),扫描软件系统(带补偿分析和校正)

计算机配置          Intel i5 2.4GHz处理器,64-bit Windows 7专业版,16GB内存,10/100/1000以太网

                    接口,DVD RW光驱,50GB硬盘,USB接口

控制系统            ACS Cmba-3C04N0N800WNNNYN

编程分辨率          0.1μm

性能展示            可加工平面、球面、柱面、非球面、离轴非球面、自由曲面等原件,加工材料包括

金属、 玻璃、晶体、红外材料、宝石等

加工精度rms1nm

 

 

离子源             指标

类型               射频离子源

                   3石墨栅网(focusing girds with R=150mm

                   栅网孔直径d=1mm,栅网孔区域直径D=38mm(resulting ion beam profile FWHM 25mm)

中和器             钨丝阴极结构中和器,0.3mm钨丝

                   2个高压电源结构,BNC型号

                   离子源束电压直流电源0-2000V

电源               离子源加速电压直流电源0-1000V

                   中和器直流电源0-30A

                   射频电源0-300V

 

 

线性轴               X                         Z                         Y

行程                800mm                    150mm                    800mm

驱动系统            直流直线电机              直流直线电机              直流直线电机

反馈类型            Renishaw真空光栅尺反馈    Renishaw真空光栅尺反馈   Renishaw真空光栅尺反馈

反馈分辨率          0.1μm                    0.1μm                    0.1μm

进给速度            运动速度>100mm/s,        运动速度>100mm/s,       运动速度>100mm/s,

                    加速度>2m/8’ 2            加速度>2m/8’2           加速度>2m/8’ 2

直线度              20μm over full travel        20μm over full travel       20μm over full travel

其他                三轴联动,重复定位精度<5μm,真空散热保证,Z轴负载磁力配重,支持CNC  

 Gcode代码控制

 

使用环境               气体要求                供电要求               占地空间

基本光学加工环境,                              380VAC; 1phase;        3.50m L x  4.0m  D x 3.0 m

温控±5℃以内         6 to 8 bar                  50/60hz                Approx.5.500KG

 

 

 

设备特点

加工口径:750mm×750mm

加工材料:玻璃、金属、硅、晶体(YAG、铌酸锂等)、锗等红外材料、宝石等

加工精度:面形rms1nm(与检测精度有关)

非接触加工方式,支持平面、球面、柱面、非球面及自由曲面加工

去除稳定,确定性加工程度高,亚纳米级加工精度

不产生亚表面损伤,可修正中低频误差,加工过程中基本不产生中高频误差

先进的离子束过程误差补偿技术

离子源稳定性>95%,连续工作运行时间>300h (不用开腔体维护)

高去除效率,去除率:0-0.2mm3/min范围可调

法拉第监测和补偿,监测离子束流特征及坐标扫描补偿

设备维护成本低,耗材少

 



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