馗鼎DLC/PVD纳米复合硬质涂层设备

馗鼎DLC/PVD纳米复合硬质涂层设备

　　1.等离子体辅助化学气相沉积系统(PECVD)：

　　系统主要分为：DLC系统(PEC500)、Me/DLC系统(PEC500-S)

　　1.1 DLC专用设备(PEC500)

　　DLC涂层采PECVD技术制备，涂层细致且平滑，有别于arc/sputter系统制备的Me-DLC。表面平滑程度可应用至光学模具等级之范畴。

　　单层DLC涂层专用机型，自制核心技术，无需金属中介层，与基材附着性优异

　　制程温度<250℃，基材限制少

　　非铁合金切削性能优异，与白刀相比，寿命增益高达2倍以上。高光铝用刀应用等

　　应用范畴：模具(塑料射出、粉末冶金、铝挤型、光盘)、生医、封装、自润磨耗零组件、装饰性表壳、机壳等。

　　1.2Me/DLC设备(PEC500-S)

　　整合Sputter PVD及PECVD技术，可制备纳米复合Me/DLC涂层。

　　以Sputter系统制备具细致柱状结构之金属氮碳化物涂层并额外提供PECVD系统之平滑磨润之DLC膜层，可延伸应用至需耐冲击磨耗之应用场合，如：冲压/锻造/整平模具、冲棒、汽车零组件等。

　　PVD Sputter系统为非平衡磁控溅镀系统，可增加其镀膜区域之离子浓度、靶材电流密度提高、结构较为致密平整、沉积速率也较平衡式系统高。可制备高质量之PVD功能性涂层。

　　复合系统具备弹性且应用较广之功能性

　　2.阴极多弧系统(欧洲技术)：

　　系统分为圆形靶系统(PVN500-C8、PVN650-C12)、矩形靶系统(PVN500-R4)

　　系统均采八边形不锈钢腔体，系统设计优化，不仅加热均匀，在不换靶材情况下，可制备超过5种以上涂层种类。

　　夹层式水路冷却，可均匀冷却腔体制程受热状况，有效提升腔体使用年限

　　真空零配件均采进口组件，设备稳定性高

　　搭载进口超高真空全磁浮真空涡轮帮浦，可抽至5*10-5torr。

　　特殊几何形状档板(遮蔽靶源)，避免靶材的污染

　　8轴3转公自转机构，产能大且膜层分布均匀。Ex：D6*L50的立铣刀，在500型产能可高达2400pcs。

　　置具台车方便Loading/Unloading生产，增加日产能，进而降低生产成本

　　全自动化镀膜生产，可远程网络诊断及程序除错，避免不必要的专人看顾

　　标准涂层种类：TiN、CrN、TiAlN、AlTiN。

　　特色化涂层种类：ZrN、TiX-H、R7、AlTiCrN、AlCrN、AlTiSiN、TS(配合PECVD)、TA(配合PECVD)。

　　馗鼎纳米科技股份有限公司简介

　　1.馗鼎纳米科技股份有限公司系由专业之等离子、材料及机电等技术团队，以研发新等离子技术与新薄膜制程为本公司之核心能力，其中本公司以自组开发的阴极电弧系统所制备之AlTiN、AlTiCrN、TiX-H、ZrN、R7…等系列薄膜质量与其机械性质皆不输进口知名镀膜设备之薄膜。

　　2. 馗鼎的DLC类金钢石涂层，更是引领镀膜业界，为全台湾首屈一指DLC涂层代工厂商，优异的磨润性质、表面细致平滑、硬度高且与基材之结合性，颠覆一般DLC附着性不佳之刻板印象。而馗鼎的DLC应用在非铁类金属(铝、铜合金…等)加工、射出成型模具脱膜、锻造模具延寿、机械零件等抗磨耗均有优异之效果。

　　3.馗鼎本着”服务”与”品质”为其经营宗旨，致力于提供优质、高稳定性之真空镀膜设备，以保证客户生产良率及质量可领先群雄，期待与客户建立互信互利之长期合作关系。